光學元件形貌測試系統是Phasics推出的一款多波長動態干涉儀,該產品應用了Phasics的橫向四波剪切干涉技術,可以實現動態的波前測量,從而快速得到樣品的表面形貌信息;而且該技術的自消色差的特性,讓系統可以支持多個工作波長,有效避免傳統干涉儀測試波長跟工作波長不同帶來的誤差問題,特別針對濾光片,可以實現傳統干涉儀無法實現的TWE的測試。
鏡頭MTF測試系統設備采用Phasics的四波剪切干涉傳感器,在405nm~940nm多種波長光源可選,而且同時最多可以配置8個波長的光源。
激光損傷閾值測試系統不同激光器類型,損傷的機理并不一致;對于連續激光器,通常是熱積累導致的損傷;而對于脈沖激光器,則存在多重的損傷機制,而且不同脈寬的激光器,占主導的損傷機制并不相同。
紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對半導體應用市場需求推出的一款高性價比的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為7.8X7.8mm2,提供300X300的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求,也能夠滿足半導體的光學器件的品質管控測量和半導體晶圓面型的測量。
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