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紫外高分辨率波前傳感器-SID4-UV-HR

產(chǎn)品簡介：

產(chǎn)品型號：

更新時(shí)間：2025-09-02

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：143

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

波前分析設(shè)備

波前分析儀波前應(yīng)用系統(tǒng) 波前調(diào)制設(shè)備

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產(chǎn)品介紹

SID4-UV-HR是Phasics針對半導(dǎo)體應(yīng)用市場需求推出的高性能的紫外波前分析儀，波長范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為13.3X13.3mm²，提供512X512的采樣率，同時(shí)能夠提供26um的相位空間分辨率；該產(chǎn)品大的靶面設(shè)計(jì)及高達(dá)512X512的相位分辨率，滿足了目前半導(dǎo)體紫外鏡頭的表征測試需求；

應(yīng)用領(lǐng)域：193nm激光光束測量

半導(dǎo)體設(shè)備用鏡頭測量

半導(dǎo)體表面缺陷測量

SID4-UV-HR指標(biāo)規(guī)格
波長范圍	190nm~400nm
靶面尺寸	13.3X13.3mm²
相位空間分辨率	26um
相位譜&光強(qiáng)譜采樣率	512X512
相位分辨率	<2nm RMS
精度	20nm RMS
采樣頻率	15fps
實(shí)時(shí)相位輸出頻率	3fps（全分辨率）
通信接口	USB3.0
尺寸	80.3 x 78.6x 108.2mm3
重量	約600g